半導體硅基材料后處理廢氣系統
時間:2022-06-16 來源: 關鍵詞: 瀏覽:
導讀: 1.1 設計基礎條件(1)設備名稱(位號):半導體硅基材料后處理廢氣系統(2)年運行時間≥8000 小時(連續運行);安裝地點:室內/室外(3)氣象條件 設備地處中...
(1)設備名稱(位號):半導體硅基材料后處理廢氣系統
(2)年運行時間≥8000 小時(連續運行);安裝地點:室內/室外
(3)氣象條件
設備地處中溫帶半干旱氣候區,受冬季冷高壓及夏季副熱帶高壓影響,呈現出典型的大陸性氣候特征:冬季寒冷而漫長;夏季炎熱而短促,日溫差大;春季干旱多風;秋季涼爽,光照充足。
廢氣污染物主要成分:一氧化氮(NO)、二氧化氮(NO2)、三氧化二氮(N2O3)、四氧化二氮(N2O4)、五氧化二氮(N2O5)、氟化氫、氯化氫、硝酸等。
排放氣體標準:按照國家最新《大氣污染物綜合排放標準》,結合當地生態環境局管控標準執行,其中氮氧化物的排放濃度不得高于5mg/Nm3,氟化物的排放濃度不得高于0.4mg/Nm3。
1.4 方案可行性及優勢
1.本方案處理廢氣可行性
(1)環保無污染,同時工藝先進,凈化吸收效率高。
(2)實現凈化設施自動、連續、穩定運行;便于調整系統參數。也可用于手動操作,以便于設施的調試和檢修。
2.本方案處理廢氣的優勢
(1)適用性:該項目所采用的技術應與業主的需處理廢氣規模、需要去除的廢氣污染物,地區特點以及管理水平相適應。體現在:
1) 采用的技術應與需去除的污染物相適應;
2) 采用的技術應與需要的設備相適應,包括國內設備和國外設備,主要設備和輔助設備;
3) 采用的技術應與項目所在地區特點、員工素質和管理水平相適應;
4) 采用的技術應對污染物的排放廢氣處理的能力相適應。
(2)可靠性:該廢氣處理工藝成熟可靠,能保證處理效果、性能和處理能力,避免了資源浪費和安全危害。
(3)經濟性:該項目充分考慮了一次性投資費用和將來可能發生的運行費用。
(4)自動化:全套廢氣處理裝置為全自動化運行,整個工藝過程由PLC程序控制,風機、循環泵的啟停,儀表與閥門的控制連鎖等。觸摸屏顯示設備運行狀態、操作時間,顯示溫度和壓力等參數,具有監測及異常報警功能。
(5)安全性:充分考慮了消防、防爆等安全因素,運行穩定,安全可靠。因此,綜合以上因素,本方案凈化系統無論是在技術合理性、先進性,還是經濟可行性方面都相對有優勢。建設費用及運行費用相對合理,采用的技術原理是合理、可行的。